.../МОНОГРАФИИ/ДИФРАКЦИОННАЯ КОМПЬЮТЕРНАЯ ОПТИКА

Глава 11

Синтез ДОЭ на алмазных поликристаллических пленках

В.С. Павельев, Д.Л. Головашкин, В.А. Сойфер


Литература:

  1. Сисакян, И. Н., Шорин, В. П., Сойфер, В. А., Мордасов, В. И., Попов, В. В. Технологические возможности применения фокусаторов при лазерной обработке материалов// Компьютерная оптика. - М.: МЦНТИ, 1988. - Вып.3. - С.94-97.
  2. Агешин, С. Ф., Азаров, А. А., Попов, В. В., Сисакян, И. Н. Применение фокусаторов в задачах лазерной обработки материалов, Компьютерная оптика. -М.: МЦНТИ, 1988.-Вып. 3. - C.. 91-93.
  3. Барвинок, В. А., Мордасов, В. И., Мурзин, С. П. К вопросу формирования температурных полей при лазерной поверхностной обработке // Изв. Академии наук. Металлы, 1995. N3. С. 147-152.
  4. Massart. M., Union, P., Scarsbrook, G. A., Sussmann, R. S., Muys, P., CVD grown diamond: a new material for high-power CO2 lasers // Laser-Induced Damage in Optical Materials, / Eds. Bennett, H. E., Guenther, A. H., Koslowski, M. R., Newnam, B. E. and Soileau, M. J. // Proc. SPIE 2714, 177-184 (1995).
  5. Harris, D. C. Infrared Window and Dome Materials // SPIE Tutorial Text Series, Volume TT10, (1992).
  6. Brasunas, J. C. Artificial diamond as a broadband infrared beam splitter for Fourier transform spectroscopy: improved results // Applied Optics, V. 38, N 4, P. 692-694, (1999).
  7. Brasunas, J. C., Cushman, G. M., Lakew, B. Artificial diamond as a broadband infrared beam splitter for Fourier transform spectroscopy // Applied Optics, V. 37, N 19, P. 4226- 4229, (1998).
  8. Кононенко, В. В., Конов, В. И., Пименов, С. М., Прохоров, А. М., Павельев, В. С., Сойфер, В. А. Алмазная дифракционная оптика для мощных CO2-лазеров // Квантовая электроника, 1999.- Том 26/ № 1. - C.9-10
  9. Kononenko, T. V., Kononenko, V. V., Konov, V. I., Pimenov, S. M., Garnov, S. V., Tischenko, A. V., Prokhorov, A. M., Khomich, A. V. Formation of antireflective surface structures on diamond films by laser patterning // Appl. Phys. A, 68(1), 99-102, (1999).
  10. Kononenko, V. V., Kononenko, T. V., Konov, V. I., Pimenov, S. M., Garnov, S. V., Tishchenko, A. V., Prokhorov, A. M., Khomich, A. V. Creation of antireflecting structures on the surfaces of diamond films by method of laser drawing // Quantum Electronics, 26 (2), 158 -162, (1999).
  11. Волков, А. В., Казанский, Н. Л., Костюк, Г. Ф., Павельев, В. С. Сухое травление поликристаллических алмазных пленок // Компьютерная оптика. - 2001. -Вып. 22. -С.50-52.
  12. Volkov, A. V., Kazansky, N. L., Kostyuk, G. F., Pavelyev, V. S. Dry etching of polycrystalline diamond films // Optical Memory And Neural Networks (Information Optics), Allerton Press, 2002. V. 11, N 2, P. 135-138.
  13. Karlsson, M., Nikolajeff, F. Diamond micro-optics: microlenses and antireflection structured surfaces for the infrared spectral region // Optics Express, V. 11, N. 5, 2003, p,502-507.
  14. Pavelyev, V. S., Soifer, V. A., Golovashkin, D. L., Kononenko, V. V., Konov, V. I., Pimenov, S. M., Duparre, M., Luedge, B. Diamond diffractive optical elements for infrared laser beam control // Proc. SPIE. 2004. V. 5456. P. 209-219.
  15. Kononenko, V. V., Konov, V. I., Pimenov, S. M., Prokhorov, A. M., Pavelyev, V. S., Soifer, V. A. CVD diamond transmissive diffractive optics for CO2 lasers // New Diamond and Frontier Carbon Technology (Japan). 2000.V. 10. P. 97-107.
  16. Golovashkin, D. L., Pavelyev, V.S. // Methods for Computer Design of Diffractive Optical Elements / Ed. V. A. Soifer.- N. Y.: John Wiley & Sons, 2002.- Paragraph 3.9, P. 258-263.
  17. Kononenko, V. V., Konov, V. I., Pimenov, S. M., Prokhorov, A. M., Bolshakov, A., Uglov, S. A., Pavelyev, V. S., Soifer, V. A., Ludge, B., Duparre, M. Laser shaping of diamond for IR diffractive optical elements// RIKEN Review, 2002. N 43. P. 49-55.
  18. Pavelyev, V. S., Soifer, V. A., Kazanskiy, N. L., Volkov, A. V., Kostyuk, G. F., Kononenko, V. V., Konov, V. I., Pimenov, S. M., Komlenok, M. S., Duparre, M., Luedge, B., Berger, M. Synthesis of diamond diffractive optical elements for IR laser beam focusing. Proc. SPIE, 2005, V.5965. P. 214-224.
  19. Golub, M. A., Rybakov, O. E., Usplenjev, G. V., Volkov, A. V. Volotovsky, S. G. The technology of fabricating focusators of infrared laser radiation // Optics & Laser Technology. 1995. V. 25, №. 4. P. 215-218.
  20. Duparre, M., Golub, M. A., Ludge, B., Pavelyev, V. S., Soifer, V. A., Uspleniev, G. V., Volotovskii, S. G. Investigation of computer-generated diffractive beam shapers for flattening of single-modal CO2 laser beams // Applied Optics. 1995. V. 34, №14. P. 2489.
  21. Tachi, S., Okudaria, S. Chemical sputtering of silicon by F+, Cl+, Br+ ions: Reactive spot model for reactive ion etching// J. Vac. Technol. В. 1986. V. 4., №. 5. P. 459-487, 1986.
  22. Oehrlein, G. S., Braight, A. A.. Robey, S. W. X-ray photoemission spectroscopy characterization of silicon etching using CF4 and CHF3 // J. Vac. Sci. Technol. A. 1988. V. 6, №. 3. P. 1989-1993.
  23. Plasma Processing for VLSI / Eds N. Einsprach D. Brown. –N.Y.: Academic Press1984. - P. 470.
  24. Kazanskiy, N. L., Uspleniev, G. V., Volkov, A.V. Fabricating and testing diffractive optical elements focusing into a ring and into a twin-spot // Proc. of SPIE. 2000. V. 4316. P. 193-199.
  25. Doskolovich, L. L., Golub, M. A., Kazansky, N. L., Khramov, A. G., Pavelyev, V. S., Seraphimovich, P. G., Soifer, V. A., Volotovskiy, S. G. Software on diffractive optics and computer-generated holograms // Proc. SPIE. 1995. V.2363. P.278-284.
  26. Soifer, V. A. // Methods for Computer Design of Diffractive Optical Elements / Ed. V. A. Soifer.- N. Y.: John Wiley & Sons, 2002. – Chap. 1, P. 1-158.
  27. Fienup. J. R. Phase retrieval algorithm: a comparison. // Appl. Opt. 1982. V. 21, № 15. P. 2758-2769.
  28. Raguin, D. H., Morris, G. M. Antireflection structured surfаces for the infrared spectral region// Applied Optics. 1993. V.32, № 7. P. 1154-1167.
  29. Raguin, D. H., Morris, G.M. Analysis of antireflection-structured surfaces with continuous one-dimensional surface profiles// Applied Optics.1993.V.32, № 14. P. 2582-2598.
  30. Raguin, D. H., Morris, G. M. Design of 1-D anti-reflection structured surface using second-order effective medium theory// OSA technical Digest.1992 № 9. P.44-46
  31. Головашкин, Д. Л., Павельев, В. С., Сойфер, В. А. Моделирование прохождения электромагнитной волны через антиотражающую алмазную структуру// Известия Самарского научного центра РАН, 1999. № 1 С. 95.
  32. Головашкин, Д. Л., Павельев, В. С., Сойфер, В. А. Численный анализ прохождения света через антиотражающую алмазную структуру в рамках электромагнитной теории// Компьютерная оптика. 1999. Вып.19. С.44-46.
  33. Golovashkin, D. L., Pavelyev, V.S. // Methods for Computer Design of Diffractive Optical Elements / Ed. V. A. Soifer.- N.Y.: John Wiley & Sons, 2002. -  Paragraph 3.9, P. 258-263.
  34. Головашкин, Д. Л., Дюпарре, М., Павельев, В. С., Сойфер, В. А. Моделирование прохождения ИК-излучения через алмазную дифракционную линзу с субволновыми технологическими погрешностями микрорельефа//Компьютерная оптика. 2001. № 21. С.131-133.
  35. Борн, М., Вольф, Э. Основы оптики: Пер. с англ. – М.: Наука, 1973.-720 с.
  36. Павельев, В. С., Головашкин, Д. Л., Кононенко, В. В., Пименов, С. М. Выбор параметров микрорельефа алмазного ДОЭ на основе локального анализа технологических погрешностей в рамках строгой теории // Компьютерная оптика. 2002. № 24. С. 81-83.
  37. Electromagnetic Theory on Grating: Topics in current physics / Ed. R. Petit. V. 22. – N.Y.: Springer-Verlag, 1980.
  38. Pavelyev, V.S. On design of quantized, radially symmetric DOEs // Optical Memory And Neural Networks, Allerton Press, 2003. V. 12, № 3.
  39. Pavelyev, V. S. Technology-oriented stochastic optimization of radially symmetric DOEs. Proc. SPIE. 2005. V. 5962. P. 891-897.
  40. Wyrowski, F. Diffractive optical elements: iterative calculation of quantized, blazed phase structures // J. Opt. Soc. Amer. 1990. V.7, № 6. P.961-963.
  41. Soifer, V. A., Kotlyar, V. V., Doscolovich, L. L. Iterative Methods for Diffractive Optical Elements Computation.-L.: Taylor & Francis, 1997
  42. Реконструкция изображенией/ Под ред. Г. Старка. – М.: Мир, 1992.- 636 с.
  43. Soifer, V. A., Doskolovich, L. L., Kazansky, N. L., Pavelyev, V. S. A hybrid method for calculating DOEs focusing into radial focal domain // Proc. SPIE. 1993. V.2426. P.358-365.
  44. Досколович, Л. Л., Казанский, Н. Л., Павельев, В. С., Сойфер, В. А. Расчет дифракционных оптических элементов для фокусировки во внеосевые радиальные фокальные области // Автометрия, 1995. № 1, С. 114-115.
  45. Павельев, В. С., Сойфер, В. А., Глазер, Т., Шротер, З., Пульман, Р., Бартельт, Х. Экспериментальное исследование четырехуровневого ДОЭ, фокусирующего гауссов пучок в круг// Компьютерная оптика. 2001. № 22. -С.53-55.