.../МОНОГРАФИИ/МЕТОДЫ КОМПЬЮТЕРНОЙ ОПТИКИ

Глава 4

Технология создания ДОЭ

А.В. Волков, Н.Л. Казанский, В.А.Сойфер,
Г.В. Успленьев, раздел 4.4 - В.С. Соловьев, раздел 4.6 - Д.Л. Головашкин, В.С. Павельев

Литература

  1. Soifer V.A., Golub M.A. Diffractive micro-optical elements with non-point response. Proceedings SPIE. Vol. 1751, pp.140-154 (1992).
  2. Bryndahl O. Formation of Blazed Grating. Journal of Optical Society of America. Vol. 60, pp.140-145 (1970).
  3. Волотовский С.Г., Голуб М.А., Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Па-вельев В.С., Серафимович П.Г., Сойфер В.А., Харитонов С.И., Ца-регородцев А.Е. Программное обеспечение по компьютерной оптике. Компьютерная оптика. Том14-15, с.94-106 (1995).
  4. Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Сойфер В.А. Расчет двухпорядковых фокусаторов. Автометрия, № 1, с.58-63 (1993).
  5. Curcio M. Diamond machining of infrared optics utilizing two-axis machine technology. Proceedings SPIE. Vol. 306, pp.105-113 (1981).
  6. Clark P.P., Londono C. Production of kinoform by single point diamond machining. Optics News. Vol. 15, pp.39-40 (1989).
  7. Булатов Е.Д., Гридин С.А., Даниленко А.А. Изготовление элементов плоской оптики миллиметрового и субмиллиметрового диапазона на серийных промышленных станках с числовым программным управлением. Компьютерная оптика. Том 1, с.167-173 (1987).
  8. Sweeney D.W., Sommargren G.E. Harmonic diffractive lenses. Applied Optics. Vol. 34, No 14, pp. 2469-2475 (1995).
  9. Бобров С.Т., Туркевич Ю.Г. Применение лазеров в системах преобразования, передачи и обработки информации (Л., 1978), с.73-77.
  10. Гуревич С.Б., Ильяшенко Н.И., Коломиец Б.Т. Оптические методы обработки информации (Л., 1974), с.117-134.
  11. Грейсух Г.И., Ефименко И.М., Степанов С.А. Оптика градиентных и дифракционных элементов (М.: Радио и связь, 1990), 136 c.
  12. Грищенко В.К., Маслюк А.Ф., Гундзера С.С. Жидкие фотополимеризующиеся композиции (Киев: Наукова думка, 1985).
  13. Boiko Yu.B., Solovjev V.S., Calixto S., Lougnot D.-J. Dry photopolymer films for computer-generated infrared radiation focusing elements. Applied Optics. Vol. 33, No 5, pp.787-793 (1994).
  14. Введение в фотолитографию. Под ред. Лаврищева В.П. (М.: Энергия, 1997).
  15. Swanson G.J. Binary optics technology: the theory and design of multi-level diffractive optical elements. Technical Report 854, Lincoln Laboratory. - Cambridge: Mass. Inst. of Technology (1989).
  16. Swanson G.J., Veldkamp W.B. Diffractive optical elements for use in infrared systems. Optical Engineering. Vol. 28, No 6, pp.605-608 (1989).
  17. Ярославский Л.П., Мерзляков Н.С. Цифровая голография (М.: Наука, 1982), 219 с.
  18. Krackhard U., Schwider J., Schrader M., Stiedl N. Synthetic holograms written by a laser pattern generator. Optical Engineering. Vol. 32, No 4, pp.781-785 (1993).
  19. Golub M.A. Ryba­kov O.E., Uspleniev G.V., Volkov A.V., Volotovsky S.G. The technology of fabricating focusators of infrared laser radiation. Optics & Laser Technology. Vol. 27, No 4, pp.215-218 (1995).
  20. Коронкевич В.П., Корольков В.П., Полещук А.Г. Лазерные технологии в дифракционной оптике. Автометрия, № 6, с.5-26 (1998).
  21. Cherkashin V.V., Churin E.G., Burge J.H., Koronkevich V.P., et al. Processing parameters optimization for thermochemical writing of DOEs on chromium films. Proceeding SPIE. Vol. 3010, pp.168-179 (1997).
  22. Валиев К.А. Физика субмикронной литографии (М.: Наука, 1990), 477 с.
  23. Handbook of microlithography, micromachining, & microfabrication. Edited by Rai-Choudhury P. (SPIE Press, 1997).
  24. Березин Г.Н., Никитин А.В., Сурис Р.А. Оптические основы контактной фотолитографии (М.: Радио и связь, 1982), 104 c.
  25. Watts M.P.C. Journal Vac. Sci. Tecnology. Vol. B3, № 1, pp.434-440 (1985).
  26. Kyser D.F., Pyle R. Computer Simulation of Electron-Beam Resist Profiles. IBM Journal Res. Development. Vol. 24, No 4, pp. 426-430 (1980).
  27. Scot Ruska W. Microelectronic processing (McGraw-Hill Book Co., 1987).
  28. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров (М.: Радио и связь, 1987), 463 с.
  29. Ефимов И.Е., Козырь И.Я. Основы микроэлектроники (М.: Высшая школа, 1983), 384 с.
  30. Спектор Б.И. Метод синтеза фазовой структуры киноформа. Автометрия. №6, с.34-38 (1985).
  31. Волков А.В., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю., Сойфер В.А. Метод формирования дифракционного микрорельефа на основе послойного нара­щивания фоторезиста. Компьютерная оптика. Том 16, с. 12-14 (1996).
  32. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник (М.: Радио и связь, 1991), 528с.
  33. Перло П., Синези С., Рипетто М., Успленьев Г.В. Использование круговой лазерной записывающей системы для изготовления по­лутоновых шаблонов дифракционных оптических элементов на основе DLW-glass пластинок. Компьютерная оптика. Том 17, с.85-90 (1997).
  34. Корольков В.П., Малышев А.И., Никитин В.Г., Полещук А.Г. и др. Полутоновые фотошаблоны на основе DLW–стекол. Автометрия. № 6, с. 27-37 (1998).
  35. Корольков В.П., Малышев А.И., Никитин В.Г., Полещук А.Г. и др. Изготовление высокоэффективных ДОЭ с помощью полутоновых фотошаблонов на основе DLW–стекол. Компьютерная оптика. Том 18, с.121-126 (1998).
  36. Электронно-лучевая литография в изготовлении микроэлектронных приборов. Перевод с англ. под ред. Дж. Р. Брюэра. (М.: Радио и связь, 1984).
  37. Моро У. Микролитография. В 2-х частях. Пер. с англ. (М.: Мир, 1980).
  38. Вебер Э., Юрке Г. Высокопроизводительные сканирующие электронно-лучевые системы в технологии ИС. Электроника. Том 50, № 23 (1977).
  39. Aagedal H., Teiwes S., Beth T. Design of paraxial diffractive elements with the CAD system DigiOpt. Proceedings SPIE. Vol. 2404, pp. 50-58 (1994).
  40. Duparre’ M., Pavelyev V.S., Luedge B., Kley E.-B.; Kowarschik R., Soifer V.A. Iterative calculation, manufacture and investigation of DOE forming unimodal complex distributions. Proceedings SPIE. Vol. 3110, pp.741-751 (1997).
  41. Duparre’ M., Pavelyev V.S., Luedge B., Kley E.-B., Kowarschik R., Soifer V.A. Forming of selected unimodal complex amplitude distributions by means of novel DOEs of MODAN-type. Proceedings SPIE. Vol. 3134, pp.357-368 (1997).
  42. Duparre M., Pavelyev V., Luedge B., Kley E., Soifer V., Kowarschik R. Generation, superposition and separation of Gauss-Hermite modes by means of DOEs. Proceedings SPIE. Vol. 3291, pp.104-114 (1998).
  43. Duparre' M., Golub M.A., Ludge B., Pavelyev V.S., Soifer V.A., Uspleniev G.V., Vo­lotovskii S.G. Investigation of computer-generated diffractive beam shapers for flattening of single-modal CO2-laser beams. Applied Optics. Vol. 34, No 14, pp.2489-2497 (1995).
  44. Хонина С.Н., Котляр В.В., Сойфер В.А., Хонканен М., Турунен Я. Формирование мод Гаусса-Эрмита с помощью бинарных ДОЭ. Компьютерная оптика. Том 18, с.24-28 (1998).
  45. Бруй Е.Б., Корешев С.Н. Особенности использования тонких слоев фотоэмульсии ПЭ-2 для получения низкочастотных рельефных голографических структур. Оптика и спектроскопия. Том 67, № 3, с.685-688 (1989).
  46. Корешев С.Н., Гиль С.В. О форме профиля низкочастотных голограммных струк­тур, получаемых на тонких слоях фотоэмульсии ПЭ-2. Оптика и спектроскопия. Том 68, № 2, с.422 (1990).
  47. Гальперн А.Д., Смаев В.П., Селявко Л.В., Шелехов Н.С. Рельефно-фазовые голо­граммы на галоидо-серебряных материалах и их копирование методом термополимеризации. Сб. научных трудов ЛФТИ (Л., 1988), с.100-107.
  48. Pennington K.S., Harper J.S. Techniques for Producing Lownoise Improved Efficiency Holograms. Applied Optics. Vol. 9, No 7, pp.1643-1650 (1970).
  49. Phillips N. J., Porter D. An advance in the processing of holograms. J. of Physics Scientific Instruments. Vol. 9, No 8, pp.631-634 (1976).
  50. Справочник по лазерам. Ред. А.М. Прохорова. Том 2 (М.: Советское радио, 1978).
  51. Красный-Адмони Л.В., Зайденберг Я.З. Исследование фотометрического метода измерения высоты рельефного фотографического изображения. Журнал научной и прикладной фотографии и кинематографии. Том 10, № 1, с.8-10 (1965).
  52. Красный-Адмони Л.В. Малосеребряные фотографические материалы и процессы их обработки (Л.: Химия, 1986), 168 с.
  53. Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L., Kharitonov S.I., Usplenjev G.V. Focusators for laser-branding. Optics and Lasers in Engineering. Vol. 15, No 5, pp.311-322 (1991).
  54. Голуб М.А., Карпеев С.В., Мурзин С.П., Овчинников К.В., Соловьев В.С., Шинка­рев М.В. Автоматизированная технология изготовления фокусаторов ИК диапазона. Оптическая запись и обработка информации: Сборник научных трудов, Куйбышев: КуАИ, с.14-18 (1988).
  55. Арефьев Е.Ю., Гилев В.А., Голуб М.А., Казанский Н.Л., Карпеев С.В., Сисакян И.Н., Сойфер В.А., Соловьев В.С., Тихонов Д.Н., Уваров Г.В. Экспериментальное исследование плоского оптического эле­мента, фокусирующего в кольцо. Компьютерная оптика. Том 5, с.49-54 (1989).
  56. Соловьев В.С., Сойфер В.А., Сисакян И.Н., Бойко Ю.Б., Гранчак В.М., Дилунг И.И. Способ изготовления рельефно-фазовых голограмм фокусирующих элементов. А.С. СССР № 1624864.
  57. Карпеев С.В., Соловьев В.С. Методы получения рельефных изображений с непрерывным профилем. Компьютерная оптика. Том 4, с.60-61 (1989).
  58. Соловьев В.С. Исследование поведения слоя жидкой фотополимеризующейся композиции во время рельефообразования. Компьютерная оптика. Том 10-11, с.145-149 (1989).
  59. Соловьев В.С. Формирование микрорельефа фокусаторов на слоях ЖФПК. Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук (Самара, 1991), 172с.
  60. Boiko Y.B., Granchak V.M., Dilung I., Solovjev V.S., Sojfer V.A. Relief holograms recording on liquid photopolymerizabel layers. Proceedings SPIE. Vol. 1238, pp.253-257 (1990).
  61. Берлин А.А., Кефели Т.Я., Королев Г.В. Полиэфирокрилаты (Москва, 1967), 372 с.
  62. Липатов Ю.С., Грищенко В.К., Гудзера С.С. Жидкие олигомерные композиции в квантовой электронике и голографии. Вестник АН УССР. № 2, с.45-50 (1985).
  63. Никифорова-Денисова C.Н. Механическая и химическая обработка. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники (М.:Высшая школа, 1989).
  64. Хит Б.А., Мейер Т.М. Плазменная технология в производстве СБИС. Пер. с англ. под ред. Айнспрука Н., Брауна Д. (М.: Мир, 1987), 322 с.
  65. Киреев В.Ю., Данилин Б.С., Кузнецов В.И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур (М.: Радио и связь, 1983), 125 с.
  66. Волков А.В., Казанский Н.Л., Рыбаков О.Е. Исследование технологии плазменного травления для получения многоуровневых дифракционных оптических элементов. Компьютерная оптика. Том 18, с.127-130 (1998).
  67. Волков А.В., Казанский Н.Л., Рыбаков О.Е. Разработка технологии получения дифракционного оптического элемента с субмикронными размерами рельефа в кремниевой пластине. Компьютерная оптика. Том 18, с.130-133 (1998).
  68. Vainos N.A., Mailis S., Pissadakis S., Boutsikaris L., Parmitter P., Dainty P., Hall T.J. Excimer laser use for microetching computer-generated holographic structures. Applied Optics. Vol. 35, pp.6304-6319 (1996).
  69. Behrmann G.P., Duignan M.T. Excimer laser micromachinig for rapid fabrication of diffractive optical elements. Applied Optics. Vol. 36, pp.4666-4674 (1997).
  70. Mailis S., Zergioti I., Koundourakis G., Ikiades A., Patentalaki A., Papakonstantinou P.,  Vainos N.A., Fotakis C. Etching and printing of diffractive optical microstructures by a femtosecond excimer laser. Applied Optics. Vol. 38, No 11, pp.2301-2308 (1999).
  71. Bohandy J., Kim B.F., Adrian F.J. Metal deposition from a supported metal film using an eximer laser. J. Appl. Phys. Vol. 60, pp.1538-1539 (1986).
  72. Fogarassy E., Fuchs C., De Unamuno S., Kerherve F., Perriere J. High Tc superconducting thin film deposition by laser induced forward transfer. Mater. Manuf. Processes. Vol. 7, pp.31-51 (1992).
  73. Ralchenko V., Vlasov A., Vlasov I., Zubov B., Nikitin A., Khomich A. Spatial distribution of thermal conductivity of diamond wafers as measured by Laser Flash Technique. Proceedings SPIE, Vol. 3484, Int. Conf., Tashkent, Uzbekistan, 1998.
  74. Sussmann R.S., Brandon J.R., Coe S.E., Pickles C.S.J., Sweeney C.G., Wasenczuk A., Wort C.J.H., Dodge C.N. Finer Points, 1998, Vol.10, No 2, p.6.
  75. Кононенко В.В., Конов В.И., Пименов С.М., Прохоров А.М., Павельев В.С., Сойфер В.А. Алмазная дифракционная оптика для мощных CO2-лазеров. Квантовая электроника. Том 26, № 1, c.9-10 (1999).
  76. Кононенко В.В., Конов В.И., Пименов С.М., Прохоров А.М., Казанский Н.Л., Павельев В.С., Сойфер В.А. Исследование алмазной дифракционной цилиндрической линзы. Компьютерная оптика. Том 19, с.102-106 (1999).
  77. Kononenko T.V., Kononenko V.V., Konov V.I., Pimenov S.M., Garnov S.V., Tischenko A.V., Prokhorov A.M., Khomich A.V. Formation of antireflective surface structures on diamond films by laser patterning. Applied Physics A. Vol. 68, No 1, pp. 99-102 (1999).
  78. Кононенко В.В., Кононенко Т.В., Конов В.И., Пименов С.М., Гарнов С.В., Тищенко А.В., Прохоров А.М., Хомич А.В. Создание на поверхности алмазных пленок антиотражающих микроструктур методом лазерного рисования. Квантовая электроника. Том 26, № 2, с.158-162 (1999).
  79. Raguin D.H., Morris G.M. Antireflection on structured surfaces for the infrared spectral region. Applied Optics. Vol. 32, No 7, pp.1154-1167 (1993).
  80. Головашкин Д.Л., Павельев В.С., Сойфер В.А. Численный анализ прохождения света через антиотражающую алмазную структуру в рамках электромагнитной теории. Компьютерная оптика. Том 19, с.44-46 (1999).
  81. Головашкин Д.Л. Разностная схема для уравнений Максвелла Труды девятой межвузовской конференции (Самара, 1999) , с. 43-45.
  82. Ralchenko V.G., Smolin A.A., Konov V.I., Sergeichev K.F., Sychov I.A., Vlasov I.I., Migulin V.V., Voronina S.V., Khomich A.V. Large-area diamond deposition by microwave plasma. Diamond and Related Materials. Vol. 6, pp.417 (1997).
  83. Rothschild M., Arnone C., Ehrlich D.J. J. Vac. Sci. Technol. Vol. B4, pp.310-314 (1986).
  84. Голуб М.А., Казанский Н.Л., Сойфер В.А. Математическая мо­дель фокусировки излучения эле­ментами компьютерной оптики. Научное приборостроение. Том 3, № 1, с.9-23 (1993).
  85. Волков А.В., Волотовский С.Г., Гранчак В.М., Казанский Н.Л., Моисеев О.Ю., Сойфер В.А., Соловьев В.С., Якуненкова Д.М. Экспериментальное исследование массопереноса в жидких фотополимеризующихся композициях. Журнал технической физики. Том 65, № 9, с.181-185 (1995)
  86. Соловьев В.С., Перло П. Исследование массопереноса для устранения эффектов усадки при копировании дифракционных оптических элементов. Компьютерная оптика. Том 18, с.130-133 (1998)
  87. Фурман Ш.А. Тонкие оптические покрытия (М.: Машиностроение, 1977), 340 с.  
  88. Бородин С.А., Волков А.В., Колпаков А.И., Рафельсон Л.Л. Устройство контроля чистоты поверхности подложек. ПТЭ, №5, с. 230-232 (1990).
  89. Рафельсон Л.Л., Волков А.В., Бородин С.А., Иванова В.А. Устройство контроля чистоты поверхности подложек. А.С. СССР № 1741032 от 15.02.1992 г.
  90. Волков А.В., Колпаков А.И. Способ определения чистоты поверхности подложки. А.С. СССР № 1784868 от 1.09.1992 г.
  91. Котляр В.В., Сойфер В.А., Храмов А.Г. Интерферометр для контроля плоскостности отражающих поверхностей. А. С. СССР № 1744452 от 30.06.1992, Бюл.24, приоритет от 07.12.90. Класс G01B 11/24.
  92. Котляр В.В., Сойфер В.А., Храмов А.Г. Интерферометр для контроля плоскостности отражающих поверхностей. А. С. СССР № 1760312 от 07.09.1992. Бюл. 33, приоритет от 07.12.90. Класс G01B 11/24.
  93. Быков В.А., Лазарев М.И., Тавров А.В. Сканирующая зондовая микроскопия для науки и промышленности. Компьютера. № 41, с.38-41 (1997).
  94. Голуб М.А., Казанский Н.Л., Шинкарев М.В. Структура комплекса программ синтеза элементов компьютерной оптики. Компьютерная оптика. Том 5, с.43-48 (1989).
  95. Коронкевич В.П., Пальчикова И.Г. Современные зонные пластинки. Автометрия. № 1, с.85-100 (1992).
  96. Doskolovich L.L., Kazan­skiy N.L., Soifer V.A., Tzaregorodtzev A.Ye. Analysis of quasiperiodic and geometric optical solutions of the problem of focusing into an axial seg­ment. Optik. Vol. 101, No 2, pp.37-41 (1995).
  97. Golub M.A., Doskolovich L.L., Kazanskiy N.L., Kharitonov S.I., Soifer V.A. Computer generated diffractive multi-focal lens. Journal of Modern Optics. Vol. 39, No 6, pp.1245-1251 (1992).
  98. Kirk J.P., Jones A.L. Phase-only complex valued spatial filter. Journal of Optical Society of America. Vol. 61, No 8, pp.1023-1028 (1971).
  99. Сиклаш Э., Сигмен А. Дифракционные расчеты с помощью мето­дов быстрого преобразова­ния Фурье. ТИИЭР. Том 62, № 3, с.161-162 (1974).
  100. Воронцов М.А., Шмальгаузен В.И. Принципы адаптивной оптики (М.:Наука, 1985), 335с.
  101. Базарбаев А.А., Голуб М.А., Казанский Н.Л., Самолинова Е.Б., Сойфер В.А., Тахтаров Я.Е., Шинкарев М.В. Комплекс программ "Анализ дифракционных характеристик элементов плоской оптики".  Государственный фонд алгоритмов и программ. - Рег. № 50890001345.
  102. Казанский Н.Л., Сойфер В.А., Харитонов С.И. Математическое моделирование светотехнических устройств с ДОЭ. Компьютерная оптика. Том 14-15, с.107-116 (1995).