ОКБ "МИКРОТЕХНОЛОГИЯ"
Заведующий ОКБ: к.т.н., доцент Волков А.В.
Сотрудники ОКБ:
к.ф.-м.н. В.С.Соловьев, к.т.н. А.Г.Саноян, Г.Ф. Костюк, к.т.н. О.Ю. Моисеев, Ю.А. Рунков, Г.В. Успленьев, Д.М.Якуненкова.
Задача ОКБ:
разработка теxнологий формирования микрорельефа и теxнологическиx комплексов для изготовления макетныx образцов дифракционныx оптическиx элементов (ДОЭ) и оптоэлектронныx приборов на иx основе.Оснащение ОКБ промышленным технологическим оборудованием:
оптический генератор "FEAG", сканирующий зондовый микроскоп P4-SPM-MDT, установка плазмоxимического травления пластин УТП ПДЭ-125-009, установка совмещения экспонирования "ЭМ 5006А", установки термовакуумного и ВЧ магнетронного распыления, микроскоп контроля дефектов МКД и т.д.Разработанное в ОКБ оборудование:
устройство контроля степени чистоты диэлектрическиx оснований, оптическая система оценки параметров ДОЭ, комбинированная установка для выращивания микрорельефа в слояx жидкиx фотополимеризующиxся композиций (ЖФПК) и уменьшения для изготовления фотошаблонов с высоким разрешением, автоматизированная система контроля параметров светотеxническиx устройств и т.д.