РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ
:
индикатор ИЧП-1 для экспресс-контроля чистоты поверхности подложки
лазерная система экспериментальной оценки энергетической эффективности ДОЭ
установка "Микрорельеф"
автоматизированная система контроля параметров светотехнических устройств
разработанные и используемые в ИСОИ РАН методы формирования микрорельефа
послойное наращивание фоторезиста
изготовление ДОЭ на основе ЖФПК
контроль микрорельефа
разработанные и изготовленные в ИСОИ РАН ДОЭ на основе непрерывного и бинарного микрорельефа
разработанные и изготовленные в ИСОИ РАН фокусаторы с многоуровневым микрорельефом
примеры компланарных осветителей, разработанных и изготовленных в ИСОИ РАН
.