.../Структура/Лаборатория Лазерных Измерений

По технологии электронной литографии и ионного травления втоной пленке аморфного кремния изготовлена металинза на основе субволновых бинарных решеток. Параметры: длина волны λ=633 нм,  длина фокуса f=633 nm  (NA=1), высота рельефа h=0.24 мкм, период  решетки T=220 nm,  размер впадины 110 нм,  размер возвышенности  110 нм; показатель преломления аморфного кремния n=4.35 + i0.486, диаметр 30 мкм.

SEM изображение металинзы в пленке аморного кремния

Экспериментально измеренный размер фокусного пятна был FWHMx = 0,55λ и FWHMy = 0,49λ. Эти значения только на 8% отличаются от значений, полученных с помощью FDTD-моделирования (FWHMx = 0,52λ, FWHMy = 0,46λ), принимая во внимание ошибки изготовления металинз, а также на 15% отличаются от фокального пятна, генерируемого совершенными металинзами (FWHMx = 0,434λ, FWHMy = 0,432λ), который имеет регулярный микрорельеф с высотой элемента 70 нм.

Публикация:
Opt. Express 25(7) 8158 (2017).