.../Структура/Лаборатория Лазерных Измерений

По технологии электронной литографии и ионного реактивного травления в тонкой пленке аморфного кремния (толщиной 130 нм) создана и исследована 16-секторная сверхтонкая спиральная металинза диаметром 30 мкм с числовой апертурой, близкой к единице. Металинза состоит из набора субволновых бинарных дифракционных решеток  с периодом 220 нм и преобразует линейно поляризованный падающий свет в азимутально поляризованный оптический вихрь и фокусирует его на расстоянии, приблизительно равном длине волны падающего света (633 нм). С помощью сканирующего ближнепольного оптического микроскопа экспериментально показано, что металинза образуют эллиптическое фокусное пятно с размерами по полуспаду интенсивности 0,32 и 0,51 от длины волны. Это самое маленькое фокусное пятно, полученное с помощью металинзы. Металинза может быть использована для увеличения разрешения в сканирующих оптических конфокальных микроскопах, для уплотнения записи информации на оптический диск и в задачах манипулирования микрообъектами.

а) б)
Рис.1. СЭМ-изображение центральной части субволновго микрорельефа металинзы размером 4х4 мкм (а) и измеренное фокусное пятно, сформированное такой микролинзой: двумерная картина интенсивности в фокусе и сечение интенсивности по декартовым осям (б).

Публикация:
Kotlyar, V.V. Subwavelength grating-based metalens for focusing of laser light [Текст] /V.V. Kotlyar, S.S. Srafeev, A.G. Nalimov, L. O’Faolain //Appl Phys Lett.–2019.–V.114.–P.141107. DOI: 10.1063/1.5092760. DOI: 10.1063/1.5092760.