.../Структура/Лаборатория микро- и нанотехнологий
Значительная часть материалов ИК-диапазона обладает высокой оптической плотностью (ZnSe, алмазные пленки, галогениды серебра). Этим объясняется актуальность задачи снижения френелевских потерь путем формирования антиотражающих структур на подложках из этих материалов.
Тестовая субволновая структура на алмазной пленке, реализованная плазмохимическим травлением | Рельеф матрицы для формирования антиотражающей структуры на торце галогенидного ИК-волновода методом штамповки |
Результаты экспериментального исследования антиотражающих структур
на торце ИК-волновода: 1 - пропускание структурированного образца; 2 – пропускание образца без антиотражающих структур; 3 - отношение 1 к 2, 4 - область антиотражающего эффекта |
Библиография: