.../Структура/Лаборатория микро- и нанотехнологий
Значительная часть материалов ИК-диапазона обладает высокой оптической плотностью (ZnSe, алмазные пленки, галогениды серебра). Этим объясняется актуальность задачи снижения френелевских потерь путем формирования антиотражающих структур на подложках из этих материалов.
![]() |
![]() |
Тестовая субволновая структура на алмазной пленке, реализованная плазмохимическим травлением | Рельеф матрицы для формирования антиотражающей структуры на торце галогенидного ИК-волновода методом штамповки |
![]() |
|
Результаты экспериментального исследования антиотражающих структур
на торце ИК-волновода: 1 - пропускание структурированного образца; 2 – пропускание образца без антиотражающих структур; 3 - отношение 1 к 2, 4 - область антиотражающего эффекта |
Библиография: