.../Структура/Лаборатория микро- и нанотехнологий

Контроль степени чистоты и наношероховатости поверхности подложек является одной из основных технологических операций, определяющих процент выхода годных изделий нанофотоники и дифракционной оптики. Предложено и изготовлено автоматизированное устройство экспресс-контроля качества поверхности по динамическому состоянию капли жидкости.

Зависимость времени растекания капли жидкости от степени чистоты и шероховатости поверхности

Тип контролируемых подложек - стеклянные фотографические пластины ВРП 50, ситалловые подложки типа СТ-50, поликоровые и др.
Контроль органических загрязнений в диапазоне 10-7-10-10 гр/см2.
Контроль шероховатости загрязнений в диапазоне 5-200 нм.
Толщина подложек 0,5-3,0 мм.
Рабочая жидкость - дистиллированная вода.
Длительность операции контроля состояния поверхности подложек - не более 2 минут.
Напряжение питания - 220 В.
Габаритные размеры - 320x200х95 мм.
Вес - 4 кг.

Библиография:

• Патент № 54677 от 10 07.06г. (полезная модель).
• Патент № 2331870 от 20.08.08г. (способ контроля).
• Компьютерная оптика, № 28, 2005.С. 66-69.
• Оптический журнал, 2009, Том 76, № 7, с. 42-47.