.../Структура/Лаборатория микро- и нанотехнологий

Наносистемы на основе пористого кремния вызывают определенный интерес разработчиков нанокристаллических светоизлучающих структур, солнечных элементов, фотонных кристаллов, транспорта для доставки лекарственных веществ. Предложены (совместно с каф. ЭТТ Самарского государственного университета) два варианта технологии получения пористого кремния.

Вид текстурированной поверхности	Фотография поперечного скола	СЗМ-изображение рельефа поверхности

Библиография:

• Структуры с макропористым кремнием для фотопреобразователей на кремниевой подложке. Сб. докладов Харьковской нанотехнологической ассамблеи-2008, Т.1, разд. 2 "Тонкие пленки в оптике и электронике", с. 207-211. Харьков 2006.
• Метрология наноразмерных порошков биоматериала с использованием поверхности пористого кремния. Сб. докладов Харьковской нанотехнологической ассамблеи-2008, Т.1, разд. 2 "Тонкие пленки в оптике и электронике", с. 187-191. Харьков 2008.