.../МОНОГРАФИИ/МЕТОДЫ КОМПЬЮТЕРНОЙ ОПТИКИ

Аннотация:
Рассмотрены технологические маршруты для изготовления дифракционных оптических элементов (ДОЭ) на основе электронной и оптической микролитографии, включающие операции создания фотошаблонов, их совмещение и уменьшение, операции получения микрорельефа и его визуализацию. Проведенный анализ позволяет подчеркнуть главное – подавляющая часть технологий, технологических приемов и технологического оборудования заимствована из других областей техники (в значительной степени из бурно развивающейся микроэлектроники) и носит соответствующие специфические черты другой отрасли, подчас совершенно не характерные для дифракционной оптики. Такое заимствование можно считать оправданным, когда основное время дорогостоящее прецизионное оборудование используется по своему прямому назначению, а операции по созданию микрорельефа ДОЭ выполняются во время простоя или технологических пауз. Это позволяет существенно удешевить исследования и уменьшить себестоимость изготовления ДОЭ. Однако в последнее время появился ряд технологий (например, прямое лазерное травление микрорельефа), создаются технологические установки (такие как лазерные записывающие машины нового поколения), которые специально разрабатываются для нужд дифракционной оптики. Авторы в своем изложении постарались соблюсти баланс между описанием широко распространенных классических и новейших технологий, подчас еще находящихся в стадии апробации и отработки.

Ключевые слова:
дифракционные оптические элементы; компьютерная оптика; дифракционный микрорельеф; формирование микрорельефа; фотолитография; электронная литография; технология травления; лазерное микроструктурирование; контроль формы микрорельефа; копирование микрорельефа; экспериментальное исследование ДОЭ; программное обеспечение.

Литература