ПОСЛОЙНОЕ НАРАЩИВАНИЕ ФОТОРЕЗИСТА

Разработчик: ОКБ "МИКРОТЕХНОЛОГИЯ"

ПОСЛОЙНОЕ НАРАЩИВАНИЕ ФОТОРЕЗИСТА
Разработана относительно простая технология,
не требующая сложного оборудования при изготовлении ДОЭ
Параметры фокусатора в отрезок:
диаметр апертуры - 40 мм;
фокусное расстояние - 400 мм;
рабочий угол - 45 град;
длина волны - 10,6 мкм;
размеры отрезка - 5х0,3 мм.
Пример реализации:

Профилограмма :

(a = 2 мм; h = 7,5 мкм)

Публикации:
1. Optics and Lasers Engineering, 1998, v. 29, p. 281 - 288.
2. Компьютерная оптика, 1996, N 16, с.12 - 14.