ПОСЛОЙНОЕ НАРАЩИВАНИЕ ФОТОРЕЗИСТА
Разработчик: ОКБ "МИКРОТЕХНОЛОГИЯ"
Параметры
фокусатора в отрезок:
диаметр апертуры - 40 мм; фокусное расстояние - 400 мм; рабочий угол - 45 град; длина волны - 10,6 мкм; размеры отрезка - 5х0,3 мм. |
Пример
реализации:
|
Профилограмма
:
(a = 2 мм; h = 7,5 мкм)
Публикации:
1. Optics and Lasers Engineering, 1998, v. 29, p. 281 - 288.
2. Компьютерная оптика, 1996, N 16, с.12 - 14.