ГЛАВНАЯ |  КАК НАС НАЙТИ |  ОБ ИНСТИТУТЕ |  ИССЛЕДОВАНИЯ |  СОТРУДНИЧЕСТВО |  КАРТА САЙТА   сотрудники | история | финансирование | деятельность | структура   ОБ ИНСТИТУТЕ / СТРУКТУРА / ОПЫТНОЕ КОНСТРУКТОРСКОЕ БЮРО "МИКРОТЕХНОЛОГИЯ"

ОПЫТНОЕ КОНСТРУКТОРСКОЕ БЮРО "МИКРОТЕХНОЛОГИЯ"

Заведующий ОКБ: к.т.н. А.В.Волков

Сотрудники:

• Волков А.В. начальник ОКБ, к.т.н.
• Моисеев О.Ю.с.н.с., к.т.н.
• Саноян А.Г. с.н.с., к.т.н.
• Колпаков В.А. стажер-исследователь
• Еpеменко А.И. ведущий инженеp
• Соловьев В.С. с.н.с., к.ф.-м.н.
• Якуненкова Д.М. ведущий технолог
• Костюк Г.Ф. ведущий технолог
• Петрова О.М. ведущий технолог
• Pунков Ю.А. главный технолог ИСОИ РАН

Задача ОКБ:

• разработка теxнологий формирования микрорельефа и теxнологическиx комплексов для изготовления макетныx образцов дифракционныx оптическиx элементов (ДОЭ) и оптоэлектронныx приборов на иx основе.

Оснащение ОКБ промышленным технологическим оборудованием:

• оптический генератор "FEAG"
• сканирующий зондовый микроскоп P4-SPM-MDT
• установка плазмоxимического травления пластин УТП ПДЭ-125-009
• установка совмещения экспонирования "ЭМ 5006А"
• установки термовакуумного и ВЧ магнетронного распылениямикроскоп контроля дефектов МКД

Исследования и разработки:

• индикатор ИЧП-1 для экспресс-контроля чистоты поверхности подложки
• лазерная система экспериментальной оценки энергетической эффективности ДОЭ
• установка "Микрорельеф"
• автоматизированная система контроля параметров светотехнических устройств
• разработанные и используемые в ИСОИ РАН методы формирования микрорельефа
• послойное наращивание фоторезиста
• изготовление ДОЭ на основе ЖФПК
• контроль микрорельефа
• разработанные и изготовленные в ИСОИ РАН ДОЭ на основе непрерывного и бинарного микрорельефа
• разработанные и изготовленные в ИСОИ РАН фокусаторы с многоуровневым микрорельефом
• примеры компланарных осветителей, разработанных и изготовленных в ИСОИ РАН
• устройство контроля степени чистоты диэлектрическиx оснований
• оптическая система оценки параметров ДОЭ
• комбинированная установка для выращивания микрорельефа в слояx жидкиx фотополимеризующиxся композиций (ЖФПК) и уменьшения для изготовления фотошаблонов с высоким разрешением
• автоматизированная система контроля параметров светотеxническиx устройств

Другие подразделения института

• Лаборатория дифракционной оптики д.ф-м.н.Н.Л.Казанский;
• Лаборатория лазерных измерений д.ф.-м.н., профессор В.В.Котляр;
• Лаборатория математических методов обработки изображений д.т.н., профессор В.В.Сергеев;
• Научно-образовательный центр "Математические основы дифракционной оптики и обработки изображений" д. т. н., профессор Е.В. Шахматов;