Разработана технология формирования кусочно-непрерывного микрорельефа (высота 1-100 мкм),
позволившая изготовить ДОЭ видимого и ИК-диапазонов
|
Изготовление
фотошаблонов
|
 |
Разработчик: ОКБ "МИКРОТЕХНОЛОГИЯ"
|
Изготовление
фотошаблонов
|
|
|
|
Нанесение
гидрофобного покрытия |
|
Нанесение
слоя
ЖФПК |
|
Экспонирование
|
|
Темновой
рост рельефа |
|
Фиксация
микрорельефа |
|
Контроль
профиля.
М 2000 : 1 |
 |