 |
 |
 |
 |
Разработчик: ОКБ "МИКРОТЕХНОЛОГИЯ"
КОНТРОЛЬ
МИКРОРЕЛЬЕФА
Имеющееся в ИСОИ РАН оборудование позволяет осуществлять
контроль микрорельефа от десятков мкм до тысячных долей мкм
|
|
|
|
|
|
 |
Публикации:
1. Компьютерная оптика, 1997, N 17, с. 85 - 90.
2. Компьютерная оптика, 1998, N 18, с. 130 - 133.