Комплекс оборудования, основой которого является станция прямой лазерной записи микроструктур, представляет собой управляемую от ЭВМ прецизионную лазерную записывающую систему, работающую с субмикронным разрешением в полярной системе координат. Станция позволяет в автоматическом режиме изготавливать элементы дифракционной оптики с произвольной структурой, изделия микромеханики, фотошаблоны оптических интегральных схем и оригиналы форматированных мастер дисков для оптической памяти.
минимальный размер дифракционной структуры |
0,6 мкм |
Характеристики оборудования:
Размер поля записи - Рабочая длина волны записи – Мощность излучения в записывающем пятне -Дискретность позиционирования, не более - |
210 мм до 100 мВт 0,01 мкм |
- гранитная плита,
- аргоновый лазер мощностью не менее 2 Вт,
- оптическая система канала модуляции,
- система позиционирования головки записи,
- интерферометр системы позиционирования,
- привод вращения угловой координаты с датчиком угла поворота,
- система автоматической фокусировки и позиционирования по вертикали головки записи (поставляется с фокусирующим микрообъективом ОЭ-40),
- управляющий компьютер с блоками электроники;
- системы контроля окружающей среды, мониторинга состояния узлов и блоков станции, выработки сигналов для их коррекции;
- системы определения характеристик записываемого элемента в процессе изготовления;
- системы электропитания, управления вакуумным прижимом заготовки и переключения сжатого воздуха.
- Размеры лазерного записывающего блока, не более 0,65х0,6х0,5 м3
- Вес блока, не более 150 кг
Эксплуатационные характеристики Установка рассчитана на эксплуатацию в микроклиматической камере типа КМК при температуре 20-25оС. В процессе записи изменение температуры не должно превышать 0,1оС. Расстояние между лазерным блоком записи и рабочим местом оператора не более 4 м.
Амплитуда вибраций не должна превышать 2 мкм при частоте до 5 Гц и 1 мкм при частоте свыше 5 Гц.
Питание установки осуществляется от сети напряжением 220 В, 50 Гц. Потребляемая мощность не превышает 0,5 кВт. Время непрерывной работы не более 12 час.
Для эксплуатации станции ее надо подсоединить к вакуумной магистрали (насосу) с остаточным давление от 0,01-0,03 МПа (0,1-0,3 кг/см2).
Для эксплуатации установки в нее надо подавать очищенный сжатый воздух под давлением 0.8-1 МПа (8-10 кг/см2). Станции не гарантируются. Расход воздуха, подаваемого в установку, не более 50 м3/час. Температура сжатого воздуха должна отличаться от температуры окружающей среды не более чем на 1оС.
При отклонении эксплуатационных характеристик от требуемых, технические параметры Станции не гарантируются. Комплект поставки установки:
- Оптико-механический блок записи.
- Силовой блок
- Управляющий компьютер.
- Соединительные кабели.
- Пакет программного обеспечения управления и тестирования Станции.
- Комплект эксплуатационной документации.
- Описание технологий записи.
- Изготовитель осуществляет сборку, настройку, пробную эксплуатацию и обучение персонала Заказчика.