№

Наименование оборудования

Фирма-изготовитель
(поставщик)

1

Трехмерно-отображающий анализатор структуры поверхности «NewView 5000»

Zygo Corporation

2

Автоматизированный интерферометр белого света «WLI-DMR»

Институт
Фраунгофера

3

Сканирующий зондовый микроскоп «SOLVER-Pro»

НТ-МДТ

4

Приставка анализа параметров пучка лазерного излучения «Beam Profiler»

LOT-Oriel

5

Система для регистрации и анализа инфракрасного излучения XPORT

Therma LOT

6

Комплекс исследования структуры поверхности «Nanopics 2100»

Tencor

7

Оптическая установка комплексного изучения свойств тонких пленок «Эллипсометр М2000DI»

LOT-Oriel Gruppe

8

Аппаратно-программный комплекс дистанционного мониторинга динамических процессов и объектов

Институт автоматики и электрометрии СО РАН

9

Установка исследования механических свойств материалов на наноуровне «NANOTEST 600»

Micromaterials

10

Станция лазерной записи «CLWS-200S»

Институт автоматики и электрометрии СО РАН

11

Высокоскоростная камера «VS-FAST/C/G6»

ЗАО «НПК ВИДЕО-СКАН», г. Москва

12

Аргоновый, гелий-кадмиевый, CO2 и др. лазеры, оптические столы и оптическое оборудование

Завод «Плазма»
и др.

13

Динамический транспарант (микродисплей) «SXGA-R2-H1»

LOT-Oriel Gruppe

14

Высокопроизводительная система анализа спектров оптического излучения «SR303i»

LOT-Oriel Gruppe

15

Центрифуга «Polos» для ручного нанесения фоторезистов на пластины

ООО «Валтекс-Рус»

16

Учебный класс «Nanoeducator» (на 6 рабочих мест)

НТ МДТ

17

Растровый электронный микроскоп «SUPRA 25»

Carl Zeiss

18

Нанотехнологическая приставка «XENOS XeDraw 2» к растровому электронному микроскопу «SUPRA 25»

XENOS

19

Установка плазменного травления – «Caroline РЕ15»

АО «ЭСТО-Вакуум»

20

Автоматическая установка магнетронного и термического нанесения «Caroline D12A»

АО «ЭСТО-Вакуум»

21

Установка трехмерного наноструктурирования 3D2S

Ганноверский лазерный центр LZH

22

Система анализа текстуры поверхности ASIQ

LOT-Oriel Gruppe

23

Прецизионный алмазный скрайбер «ATV RV-129»

ООО «АБСОЛЮТ»

24

Аппаратно-программный комплекс дистанционного мониторинга динамических процессов и объектов

ООО Корвет

25

Сверхвысоковакуумный многокамерный нанотехнологический комплекс «НаноФаб 100»

НТ-МДТ

26

Сканирующий электронный микроскоп с термоэмиссионным катодом и системой электронной литографии

НТ-МДТ

27

Сканирующая зондовая нанолаборатория «Ntegra Spectra»

НТ-МДТ

28

Центрифуга для разделения нанопорошков (0,1 – 10 мкм) по фракциям Optima МАХ

Optima

29

Система малоуглового рассеяния рентгеновского излучения s3-micro

NT-MDT

30

Пространственный модулятор света высокого разрешения PLUTO VIS

HOLOEYE Photonics

31

Прецизионная система шлифовки НМ 300.2

OptoTech

32

Станция лазерной записи CLWS-2014

Конструкторско-технологический институт научного приборостроения Сибирского отделения РАН, Россия

33

Спектрально-перестраиваемый фемто-пикосекундный волоконный лазер, модель "Иттербиус-1100", укомплектованный волоконным усилителем, а также сканирующим автокоррелятором FS-PS-Auto

ЗАО"Техноскан"

34

Спектрограф MS7501

СОЛАР ТИИ

35

Установка контактной литографии SUSS MJB3

КарлЦейс

36

Селектор OG8/1-F с электрооптическими ячейками Поккельса

Авеста-Проект

37

Измеритель длин волн лазерного излучения модель WS/5-IR

ООО “Ангстрем”

38

Перестраиваемая лазерная система NT242

ООО "Промэнерголаб"

39

Анализатор спектра телекоммуникационного диапазона Anritsu MS9740A

Anritsu

40

Цифровая система ввода изображения SWIR диапазона

Видеоскан

41

Параметрический генератор света LP 603

Промэнерголаб

42

3d принтер Mass Portal Grand Pharaon XD 40

Mass Portal

43

Модулятор света, работающий на пропускание HES 2012

Holoeye

44

Система профилирования лазерного пучка piShaper 6_6 Series laser beam shapers

Altechna

45.

Трехмерно-отображающий анализатор структуры поверхности «NewView 7300»

Zygo Corporation

46

Установка совмещения и экспонирования ЭМ 5006А

47

Центрифуга для исследования микропорошков CPS Disc Centrifuge DC 24000

CPS Instruments, Inc.

48

Установка термического напыления в вакууме УВН-2М-2

49

Система высоковакуумного магнетронного напыления тонких металлических и диэлектрических пленок «Оратория 5-М»

Калининградский машиностроительный завод ПО «КВАРЦ»

50

Установка нанолитографии NanoInk

51

Solarus Advanced Plasma Cleaning System
(система плазменной очитки для удаления углеводородных загрязнений с образцов)

Gatan, Inc.

52

Стилусный профилометр P-16+

KLA Tencor

53

Оптический микроскоп Ломо МСП-1

Ломо

54

Оптический микроскоп Ломо Микмед-5

Ломо

55

Программное обеспечение FRED (5 лицензий)

Photon Engineering LLC

56

Программное обеспечение GratingMOD+DiffractMOD (4 лицензии)

Photon Design

57

58

59

Программное обеспечение FIMMWAVE (4 лицензий)

RSoft Design Group

60

Программное обеспечение OlympIOs (2 лицензий)

Concept to Volume

61

Программное обеспечение Trace Pro Expert (сетевая учебная лицензия на 10 компьютеров)

LAMBDA RESEARH CORPORATION

Программное обеспечение Grating 2D

СГАУ

Программное обеспечение Grating 3D

СГАУ