Измерительный прибор работает по принципу интерференционной оптики. В зависимости от варианта оснащения применяются интегрированные в микроскоп интерферометры различных типов:
Миро, Линника, Майкельсона.
Еще одним компонентом, необходимым для эксплуатации прибора, является пьезоэлектрический позиционер с блоком управления, позволяющий осуществлять с требуемой точностью необходимое для осуществления измерения перемещение образца. Функции управления всеми компонентами выполняет персональный компьютер, обеспечивающий одновременно комплексный анализ данных и их отображение.

Технические характеристики:

Компьютер,электроника: PC Pentium4 в корпусе Mini Tower
Программное обеспечение: Microsoft Windows 2000, SP4

Карта ввода кадров: Framegrabber PCImage SG

Модуль ПЗС -камеры Sony XC-ST70CE, количество пикселей: 756 х 581 (картой ввода кадров используются 512 х 512)

Микроскоп Leica DM RE:

1. объектив 11С PL Fluotar 5х/0.15 для интерферометра Майкельсона
2. объектив N PLAN Н 20х//0.4
3. объектив N PLAN Н 50x7/0.5

Интерференционая оптика: оптика белого света для микроскопа LEICA DMR

Пьезопозиционер: с блоком управления P-518.ZCL Z, пьезоэлектрическая система позиционирования нанодиапазона, с емкостным датчиком путь перемещения 100 мкм размер шага 2 нм

Управляющая электроника:

система контроллера пьезопозиционера Е-501.00 LVPZT-усилитель Е-505.00
контроллерный модуль для управления датчиком / сервоприводом E-509.CIA

Руководство по эксплуатации