Стилусный профилометр P-16+ является верхней ступенью развития линейки стилусных профилометров P-series компании KLA-Tencor. Объединяя выдающиеся измерительные характеристики своего младшего брата P-6, профилометр P-16+ прибавляет к ним широкие возможности автоматизации процессов измерения, возможность построения 3D изображения напряжений поверхности, а так же многое другое. Выпускается профилометр P-16 в двух конфигурациях: P-16+ и P-16 OF, отличающихся габаритами и формой предметного столика.
P-16+ - система исследовательского класса, используемая в широком диапазоне приложений от научных задач до применения во многих отраслях промышленности.
Преимущества P-16+:
- Лучшая в своем классе повторяемость измерений вертикальной ступеньки - 6 ангстрем;
- Компактные размеры прибора при максимальной длине сканируемого участка в 200мм;
- Режим измерений с пониженным усилием воздействия на стилус (до 0,05 мг);
- Программное обеспечение Apex 2D и 3D для анализа поверхностей, набора статистических данных, оформления готового отчета.
- Стилусные профилометры Р-16+ и Р-16+ OF обеспечивают подробный двух и трехкоординатный анализ топографии поверхности широкого спектра материалов, включая: полупроводниковые многослойные материалы, тонкие пленки и химические покрытия, микроэлектромеханические системы, оптоэлектронику, медицинские и биологические устройства, а так же панели жидкокристаллических дисплеев.
Базовое оснащение включает в себя:
- Автоматические последовательные измерения до 20 заданных областей;
- Интегрированное прогрмаммное обеспечение "Apex Analisys 2D";
- Вертикальный сенсор с диапазоном перемещения в 300 мкм;
- Измерительная насадка "MicroHead 5SR";
- Длина сканируемой области 80 мм;
- Число срезов данных 4 000 000 за одно сканирование;
- Частота следования срезов данных до 2 кГц;
- Предметный столик круглой формы Ø 200 мм (для P-16+) и квадратный столик 240Х240 мм (для P-16 OF);
- Визуализация с помощью двух видеокамер;
- Алмазный стилус с радиусом скругления 2 мкм;
- Персональный компьютер 2,8 ГГц, 17" дисплей, 80 Гб HDD, 1 Gb RAM, MS Windows XP.
Дополнительные опции для P-16:
- Пакет "Производительность" открывает возможность задавать последовательность из 1000 областей измерения и распознавания образцов по подложке;
- Программное обеспечение "Apex 3D" или "Profiler 3D";
- Расширенный диапазон сканирования (до 200 мм);
- Измерительная насадка "Microhead 5LF" для измерений с воздействием на стилус от 0,05 мг. Диапазон вертикального перемещения при этом составляет 130 мкм;
- Измерительная насадка "Microhead 5XR" для измерений шероховатых поверхностей с высотой рельефа до 1 мм и усилием воздействия стилуса от 0,5 мг;
- Круглый предметный столик Ø 300 мм для P-16 OF;
- Цветная USB видеокамера;
- Объективы для видеокамер с площадью обзора 900Х650 мкм;
- Дополнительное программное обеспечение: 2D или 3D стресс, комбинированная статистика, оф-лайн анализ;
- Стилусы с различными радиусами скругления для разнообразных применений - от исследования покрытий до изучения микрорельефа поверхности.
