Круговая лазерная записывающая система (КЛЗС) предназначена для прямой лазерной записи амплитудных бинарных микроструктур произвольной топологии на пленках хрома и фазовых многоуровневых микроструктур на пленках фоторезистов.
КЛЗС применяется для изготовления шкал, сеток и лимбов, кодовых дисков, фотошаблонов дифракционных оптических элементов, фотошаблонов для элементов микромеханики и интегральной оптики, компьютерно-синтезированных голограмм.
Принцип работы КЛЗС состоит в формировании сфокусированным лучом лазера скрытых изображений в светочувствительных слоях. Запись изображений осуществляется путем пошагового перемещения записывающего лазерного пучка по радиусу непрерывно вращающейся подложки со светочувствительным слоем и синхронной с вращением модуляции мощности пучка под управлением компьютера.
Технические характеристики КЛЗС:
- Максимальный диаметр поля записи – 285 мм.
- Максимальная толщина обрабатываемой детали 20 мм.
- Минимальный размер дискретности элементов записываемой структуры:
- поле диаметром до 150 мм – 0,2 мкм;
- поле диаметром от 150 до 285 мм – 0,4 мкм.
Дискретность позиционирования записывающего пучка, не более:
- по радиусу (линейная координата) – 1 нм;
- по углу (круговая координата) при 600 об/мин – 0,45 угловых сек.
Среднеквадратическая погрешность позиционирования записывающего пучка, не более:
- по радиусу (линейная координата) – 20 нм;
- по углу (круговая координата) при 600 об/мин – 1,5 угловых сек.
Виды элементов топологии:
- прямые линии;
- концентрические окружности;
- кривые, описываемые различными математическими функциями;
- различные символы (арабские цифры и буквы латинского и славянского алфавита).
|