Станция лазерной записи CLWS-2014

 

Круговая лазерная записывающая система (КЛЗС) предназначена для прямой лазерной записи амплитудных бинарных микроструктур произвольной топологии на пленках хрома и фазовых многоуровневых микроструктур на пленках фоторезистов.
КЛЗС применяется для изготовления шкал, сеток и лимбов, кодовых дисков, фотошаблонов дифракционных оптических элементов, фотошаблонов для элементов микромеханики и интегральной оптики, компьютерно-синтезированных голограмм.
Принцип работы КЛЗС состоит в формировании сфокусированным лучом лазера скрытых изображений в светочувствительных слоях. Запись изображений осуществляется путем пошагового перемещения записывающего лазерного пучка по радиусу непрерывно вращающейся подложки со светочувствительным слоем и синхронной с вращением модуляции мощности пучка под управлением компьютера.

Технические характеристики КЛЗС:  
  1. Максимальный диаметр поля записи – 285 мм.
  2. Максимальная толщина обрабатываемой детали 20 мм.
  3. Минимальный размер дискретности элементов записываемой структуры:
    • поле диаметром до 150 мм – 0,2 мкм;
    • поле диаметром от 150 до 285 мм – 0,4 мкм.

Дискретность   позиционирования  записывающего   пучка, не более:

  1. по радиусу (линейная координата) – 1 нм;
  2. по углу (круговая координата) при 600 об/мин – 0,45 угловых сек.

Среднеквадратическая    погрешность позиционирования записывающего пучка, не более:

  1. по радиусу (линейная координата) – 20 нм;
  2. по углу (круговая координата) при 600 об/мин – 1,5 угловых сек.

Виды элементов топологии:

  1. прямые линии;
  2. концентрические окружности;
  3. кривые, описываемые различными математическими функциями;
  4. различные символы (арабские цифры и буквы латинского и славянского алфавита).

 

Руководство по эксплуатации