/ЗАВЕРШЁННЫЕ РАЗРАБОТКИ

Разработчик: ОКБ "МИКРОТЕХНОЛОГИЯ"

ИНДИКАТОР ИЧП-1 ДЛЯ ЭКСПРЕСС-КОНТРОЛЯ
ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ
Позволяет повысить точность расчета за счет устранения эффекта стагнации
и увеличивать размер массивов за счет экстраполяции и интерполяции.

Тип контролируемой подложки - кремний, стекло, кварц. Используемая жидкость - дистиллированная вода. Время измерения в режиме индикатора - не более 30 с. Потребляемая мощность - 10 Вт. Чувствительность - 10-10 г/см. Габаритные размеры - 300х310х120 мм.

Публикации:
1. А.с. 1741032 от 10 сентября 1990.
2. А.с. 1784868 от 05 февраля 1990.
3. ПТЭ 1990, N 5, с. 230-232.