 |
 |
 |
 |
Разработчик: ОКБ "МИКРОТЕХНОЛОГИЯ"
КОНТРОЛЬ
МИКРОРЕЛЬЕФА
Имеющееся в ИСОИ РАН оборудование позволяет осуществлять
контроль микрорельефа от десятков мкм до тысячных долей мкм.
|
|
|
|
|
|
 |
Публикации:
1. Компьютерная оптика. -1997. -N 17. -C.85 - 90.
2. Компьютерная оптика. -1998. -N 18. -C.130 - 133.