/ЗАВЕРШЁННЫЕ РАЗРАБОТКИ

Разработчик: ОКБ "МИКРОТЕХНОЛОГИЯ"

РАЗРАБОТАННЫЕ И ИЗГОТОВЛЕННЫЕ В ИСОИ РАН ФОКУСАТОРЫ С МНОГОУРОВНЕВЫМ МИКРОРЕЛЬЕФОМ
Вид области
фокусировки
Длина волны, мкм
Апертура,
мм
Фокусное расстояние,
мм
Размеры фокальной линии
Число уровней квантования фазы
Метод изготовления
“Отрезок”*
10,6
16
250
6 мм
5
ФЛ
“Отрезок”*
10,6
40
400
10 мм
8
ФЛ
“Отрезок”*****
10,6
40
500
10 мм
8
ПХТ
“Точка”*
10,6
10
250
-
8
РТМ
“Отрезок”**
10,6
6
80
5 мм
5
ФЛ
“Кольцо”******
10,6
12
400
12 мм
8
РНФ
“Кольцо”**
10,6
20
100
4 мм
8
ФЛ
“Две точки”**
10,6
20
100
3 мм
8
ФЛ
Материал подложки:
* - медь
** - стекло
*** - плавленый кварц
**** - кремний
***** - полиметилметакрилат
****** - фоторезист c алюминиевой/серебряной пленкой
ПХТ - плазмохимическое травление
РНФ - равномерное наращивание фоторезиста
РТМ - равномерное травление меди
ФЛ - фотолитография