.../ПУБЛИКАЦИИИ/МОНОГРАФИИ


ФОРМИРОВАНИЕ ОПТИЧЕСКОГО МИКРОРЕЛЬЕФА ВО ВНЕЭЛЕКТРОДНОЙ ПЛАЗМЕ
ВЫСОКОВОЛЬТНОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА

Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков

ISBN: 5-89776-011-X
223 стр.
Радио и связь,
2009г.

Аннотация:
Монография является результатом исследования в рамках нового научного направления, связанного с формированием оптического микрорельефа, микро- и наноструктур во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда, а также с созданием соответствующих методов и приборов. Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований электрофизических характеристик высоковольтного газового разряда, формирующего плазму вне межэлектродного пространства. На основе комплексного экспериментального исследования предложены физико-математичес­кие модели взаимодействия частиц внеэлектродной плазмы с атомно-молекулярными комплексами поверхности твердого тела, гетероструктурами и полимерами. Рассмотрен новый класс методов и приборов, позволяющих реализовать последовательность технологических процессов изготовления дифракционных микроструктур на широкоформатных пластинах в низкотемпературной плазме, расширить спектр дифракционных оптических элементов в соответствии с перспективами развития компьютерной оптики.

Гриф:
Монография ориентирована на широкий круг ученых и специалистов по физике газового разряда, физике плазмы, физике твердого тела, микро- и наноэлектронике, компьютерной и дифракционной оптике.
Полное оглавление

Список глав

  Предисловие 6
  Введение 7
Глава 1

Глава 1 Механизмы формирования направленных потоков низкотемпературной плазмы высоковольтным газовым разрядом вне межэлектродного пространства

13
       
Глава 2

Методы экспресс-контроля чистоты поверхности

39
       
Глава 3

Повышение степени чистоты поверхности в низкотемпературной внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда

68
       
Глава 4

Адгезия в структурах металл-диэлектрик после бомбардировки их поверхности ионно-электронным потоком

99
       
Глава 5

Травление оптического микрорельефа во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда

117
       
Глава 6

Формирование каталитической маски микрорельефа оптических элементов при облучении структуры алюминий-кремний частицами высоковольтного газового разряда

170
       
 

Заключение

187
       
 

Список литературы

189
       
 

Приложение. Статистическая обработка результатов эксперимента

208