.../ПУБЛИКАЦИИИ/МОНОГРАФИИ

ФОРМИРОВАНИЕ ОПТИЧЕСКОГО МИКРОРЕЛЬЕФА ВО ВНЕЭЛЕКТРОДНОЙ ПЛАЗМЕ ВЫСОКОВОЛЬТНОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА Н.Л. Казанский, В.А. Колпаков ISBN: 5-89776-011-X 223 стр. Радио и связь, 2009г.

Аннотация:
Монография является результатом исследования в рамках нового научного направления, связанного с формированием оптического микрорельефа, микро- и наноструктур во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда, а также с созданием соответствующих методов и приборов. Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований электрофизических характеристик высоковольтного газового разряда, формирующего плазму вне межэлектродного пространства. На основе комплексного экспериментального исследования предложены физико-математические модели взаимодействия частиц внеэлектродной плазмы с атомно-молекулярными комплексами поверхности твердого тела, гетероструктурами и полимерами. Рассмотрен новый класс методов и приборов, позволяющих реализовать последовательность технологических процессов изготовления дифракционных микроструктур на широкоформатных пластинах в низкотемпературной плазме, расширить спектр дифракционных оптических элементов в соответствии с перспективами развития компьютерной оптики.

Гриф:
Монография ориентирована на широкий круг ученых и специалистов по физике газового разряда, физике плазмы, физике твердого тела, микро- и наноэлектронике, компьютерной и дифракционной оптике.
Полное оглавление

Список глав

	Предисловие	6
	Введение	7
Глава 1	Глава 1 Механизмы формирования направленных потоков низкотемпературной плазмы высоковольтным газовым разрядом вне межэлектродного пространства	13
Глава 2	Методы экспресс-контроля чистоты поверхности	39
Глава 3	Повышение степени чистоты поверхности в низкотемпературной внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда	68
Глава 4	Адгезия в структурах металл-диэлектрик после бомбардировки их поверхности ионно-электронным потоком	99
Глава 5	Травление оптического микрорельефа во внеэлектродной плазме высоковольтного газового разряда	117
Глава 6	Формирование каталитической маски микрорельефа оптических элементов при облучении структуры алюминий-кремний частицами высоковольтного газового разряда	170
	Заключение	187
	Список литературы	189
	Приложение. Статистическая обработка результатов эксперимента	208